苏州某光电器件心片制造出厂，晶圆激光加工整个过程中出现含硅、氟的唯一性废液，制作工作的规模1200吨/日。废液营养成分繁复，所含微米级硅颗粒肥料及盐酸，常用工作方案难易符合标准。 废液成份及由来 最主要的环境污渍 ：溶液硅（100-500nm粒度）、氟化合物（200-300mg/L）、异丙醇 的来源制作工艺 ：晶圆刻蚀污水（45%）、CMP催化机戒cnc精密机械加工污水（40%）、机械设备洗水（15%） 清理鑫霖环保方案 自主创新所采用"耐腐蚀悠长岁月中+特别膜分割"能力路经： 钙盐沉淀物中 ：污泥脱水氯化钙弄掉氟化合物（转成CaF2积累） 二沉池现象 ：组合水解酸化池剂达到氢氧化铁硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm口径膜挪用微细颗粒剂 反固化系统化 ：脱盐率>98%，回收公司率75% 挥发晶体 ：浓水段达成氟化物0排放口 结果是的效果 氟化物浓度值：<8mg/L（高出的国家1级规则10mg/L） 硅水分含量：<5mg/L 水資源工业废水处理率：70%用在加热塔补湿 危险废弃物回收利用：减压蒸馏渣滓量较传统型工艺技术极大减少60%