某半导体器件电源芯片制做厂在晶圆制作的过程 中，实用硅烷来硅外加滋生，氮氧化合物洗洁塔诞生高质量浓度含硅化工生产废水。化工生产废水体现了pH跌涨大（2-11）、硅含锌量高的作用，普通操作策略易出显硅垢堵死问题。 废水处理方法的成分及起源 污废水 主要的有效成分为： 析出性硅酸盐 ：SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L 盐酸/氢防氧化钠 ：洗衣机清洗剂塔强酸强碱洗衣机清洗剂液余留 颗粒剂硅 ：納米级SiO₂溶液 痕量砷 ：主要原料硫氰酸盐带进 操作工艺设计流程图 科技创新分为"多级采和+膜滤过+减压蒸馏晶体"方法： 考试内容一级与 ：用CaO可以调节pH至4-5，制成硅酸钙结晶，硅彻底清除率60%。 2级采和 ：加Na₂CO₃将pH的提升至9，进的一步发展所剩硅，并接用镁剂除砷。 反渗透膜软件系统 ：0.02μm卫浴陶瓷膜过滤装置納米级硅粒状，通量稳定的在80LMH。 MVR挥发器 ：精提高盐生产废水，晶粒出Na₂SO₄副企业产品，水中水回用率超90%。 终结使用效果 总硅从1500mg/L高于5mg/L下 砷纯度从0.8mg/L高于0.01mg/L 系统软件无积垢执行超出2年 一年利用氢氧化钾钠尖晶石约800吨